제품특징
크린벤치(Clean Bench) 상부에 위치한 HEPA Filter를 통하여 여과된 기류가 Clean Bench의 상부로부터 공급되는 형식입니다. Clean Bench 하부의 Pre-Filter(Activated Carbon Filter)와 Main Filter(HEPA Filter)로 구성되어 있습니다. HEPA Filter는 0.3um의 입자제어용으로 CleanRoom Class 10~100에 사용되며 반도체, 전자관련 Clean Room에 사용됩니다. 보다 우수한 Filter로서 ULPA FIlter가 사용될 수 있으며, 이것은 0.1~0.2um의 입자제어용으로 CleanRoom Class 1~100에 사용됩니다. 가장 일반적인 Clean Bench의 기류공급방식입니다. 실험, 연구, 개발 및 정밀 반도체, 전자관련 산업에 많이 이용됩니다.
제품사양
외장: Steel Plate 1.0t(분체도장)
내장: SUS Plate
전면샤시: 강화유리(5t) (선택사양: PC판, 무정전아크릴판)
필터: Pre-Filter(선택사양: Pre-Carbon Filter), HEPA Filter
등기구:UV Lamp(Option), FL Lamp: 각 1개
아우어메터(Basis)/차압계(Option)
풍량조절 볼륨스위치 : 필터상태에 따라 풍량을 4단으로 조절하여 사용가능
전원: 220V, 60Hz(단상)
필터사양
[HI-PAC Pre-Filter] [0.3um(Class 100), 99.999% HEPA Filter]
[수직층류형 무균실험대 기류흐름]
